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Chip-Ausbeute   Anzahl Defekte: Chipfläche Wafer B Chipfläche Wafer A = Chipgröße Wafer A Chipgröße Wafer B Anzahl Chips:defekte Chips:Ausbeute: Anzahl Chips:defekte Chips:Ausbeute: fehlerhafte Stelle defekter Chip funktionsfähiger Chip 4 20 107 21 80,4% 45,45% 22 12